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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Teutsch, Michael

Abstract:
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000034729
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-347298
KITopen-ID: 1000034729
HGF-Programm 43.12.03 (POF II, LK 01)
Verlag KIT, Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten 26.03.2013
Schlagworte Nickel, Superlegierung, LIGA, Mikrosysteme
Relationen in KITopen
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