Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Abstract:
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-347298 KITopen-ID: 1000034729 |
| HGF-Programm | 43.12.03 (POF II, LK 01) Reliability of nanomaterials |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | 26.03.2013 |
| Schlagwörter | Nickel, Superlegierung, LIGA, Mikrosysteme |
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