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URN: urn:nbn:de:swb:90-347298

Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

Teutsch, Michael

Abstract:
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 1000034729
Verlag Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Prüfungsdaten 26.03.2013
Referent/Betreuer PD Dr. J. Aktaa
URLs Verlagsausgabe
Schlagworte Nickel, Superlegierung, LIGA, Mikrosysteme
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