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Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

Waldbaur, Ansgar

Abstract:
In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.

Abstract (englisch):
In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and casting. Also, bio-chemical ligand patterns comprising 256 different ligand densities have been created in a few seconds on a 5 mm² substrate with pixel sizes of a few µm.

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DOI: 10.5445/KSP/1000036845
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-0119-0
ISSN: 1869-5183
urn:nbn:de:0072-368453
KITopen-ID: 1000036845
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang XVI, 133 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 19
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 26.09.2013
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Mikrofluidikchip, Rapid Prototyping, Lithographie, Ligandenmuster, Mikrospiegelarray
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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