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Funktionale Schichten in Leiterplatten. Entwicklung von intelligenten Mikrovibrationssensoren in mehrdimensionaler Leiterplattentechnologie

Blank, Thomas ORCID iD icon

Abstract:

Gegenstand der Arbeit sind kugelbasierte Mikrovibrationssensoren zur Bewegungserkennung. Sie werden zur Aktivierung elektronischer Systeme in Abhängigkeit ihres Bewegungszustandes genutzt und ermöglichen eine Reduktion der Energieaufnahme um einen Faktor 30 bei optischen Computermäusen. Zentraler Bestandteil der Arbeit sind die Herstellverfahren und Prozessketten zur Integration mechanischer Elemente und ungehäuster Siliziumchips in die Leiterplatte für den Aufbau der Sensoren.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000037414
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-374143
KITopen-ID: 1000037414
HGF-Programm 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Prüfungsdaten 08.11.2013
Prüfungsdatum 08.11.2013
Schlagwörter Mikrovibrationssensoren, Funktionale Schichten in Leiterplatten, Integration mechanischer Elemente in die Leiterplatte, Kugelsensoren
Referent/Betreuer Saile, V.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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