| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-86359-296-7 KITopen-ID: 1000056979 |
| Erschienen in | Smart Systems Integration 2015: 9th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems: MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components, SSI 2015, 11-12 March 2015, Copenhagen |
| Verlag | Apprimus Wissenschaftsverlag |
| Seiten | 418-421 |
| Nachgewiesen in | Scopus |
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