Reactive nanocomposites for heterogeneous integration

Kremer, Matthias P.; Tortschanoff, Andreas; Guber, Andreas E. ¹
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2015
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-3-86359-296-7 KITopen-ID: 1000056979
Erschienen in	Smart Systems Integration 2015: 9th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems: MEMS, NEMS, ICs and Electronic Components, SSI 2015, 11-12 March 2015, Copenhagen
Verlag	Apprimus Wissenschaftsverlag
Seiten	418-421
Nachgewiesen in	Scopus
Relationen in KITopen	Verweist auf Development of a Bonding Concept for MOEMS Packaging: Reactive Nanocomposites. Kremer, Matthias Peter; Guber, A. E. (2019) Hochschulschrift (1000089316)