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DOI: 10.5445/IR/1000058928

Charakterisierung der Prozessgüte und Verbesserung der Herstellung periodischer Strukturen mit dem LIGA-Verfahren - Herstellung von Gitterstrukturen für die gitterbasierte multimodale Röntgenbildgebung mit Aspektverhältnis 100 und mehr bei hohen Schichtdicken

Walter, Marco

Abstract:
Die Herstellung periodischer Strukturen mit höchsten Aspektverhältnissen kann den Anwendungsbereich der multimodalen Röntgenbildgebung erweitern. Die vorliegende Arbeit zeigt Wege auf um bestehende Begrenzungen des Aspektverhältnisses die sich aus der lithographischen Strukturdefinition ergeben zu umgehen.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2016
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-589280
KITopen ID: 1000058928
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Verlag Karlsruhe
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 27.07.2016
Referent/Betreuer Prof. M. Kohl
Schlagworte LIGA, Lithography, X-Ray imaging
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