Influence of pressure and temperature on the growth and properties of pulsed laser deposited PZT for MEMS
Schatz, A.; Pantel, D.; Hanemann, Thomas
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-602524 KITopen-ID: 1000060252 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Veranstaltung | 5th International Workshop on Piezoelectric MEMS, Grenoble, F, May 24-25, 2016 |