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Influence of pressure and temperature on the growth and properties of pulsed laser deposited PZT for MEMS

Schatz, A.; Pantel, D.; Hanemann, Thomas

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DOI: 10.5445/IR/1000060252
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seit 31.07.2018
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seit 31.10.2016
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-602524
KITopen-ID: 1000060252
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01)
Veranstaltung 5th International Workshop on Piezoelectric MEMS, Grenoble, F, May 24-25, 2016
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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