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Influence of pressure and temperature on the growth and properties of pulsed laser deposited PZT for MEMS

Schatz, A.; Pantel, D.; Hanemann, Thomas



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-602524
KITopen ID: 1000060252
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erschienen in 5th International Workshop on Piezoelectric MEMS, Grenoble, F, May 24-25, 2016
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