| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2017 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0031-9007, 1079-7114, 1092-0145 urn:nbn:de:swb:90-645262 KITopen-ID: 1000064526 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Physical review letters |
| Verlag | American Physical Society (APS) |
| Band | 118 |
| Heft | 1 |
| Seiten | Art. Nr. 016601 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science OpenAlex |