Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2017 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2334-2536 KITopen-ID: 1000070499 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optica |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 4 |
Heft | 5 |
Seiten | 557-562 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |
Relationen in KITopen |