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DOI: 10.5445/IR/1000073812
Veröffentlicht am 27.12.2017

Substrat-konsumierende metall-organische Schichten – Wachstumsverhalten und Nanolithographie

Riedel, Birgit



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-738127
KITopen-ID: 1000073812
Verlag Karlsruhe
Umfang IV, 134 S.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Physik (PHYSIK)
Institut Institut für Angewandte Physik (APH)
Prüfungsdatum 16.01.2009
Referent/Betreuer Prof. T. Schimmel
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