Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1742-6588, 1742-6596 urn:nbn:de:swb:90-812516 KITopen-ID: 1000081251 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of physics / Conference Series |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 963 |
Heft | 1 |
Seiten | Art.Nr. 012003 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |