Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 04.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2160-3308 urn:nbn:de:swb:90-823607 KITopen-ID: 1000082360 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review / X |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 8 |
Heft | 2 |
Seiten | 021017 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |