High Quality 3D Photonics using Nano Imprint Lithography of Fast Sol-gel Materials
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2045-2322 URN: urn:nbn:de:swb:90-831676 KITopen ID: 1000083167 |
| HGF-Programm | 43.22.03; LK 01 |
| Erschienen in | Scientific reports |
| Band | 8 |
| Heft | 1 |
| Seiten | Art.Nr.:7833 |
| Vorab online veröffentlicht am | 18.05.2018 |