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High Quality 3D Photonics using Nano Imprint Lithography of Fast Sol-gel Materials

Bar-On, Ofer; Brenner, Philipp; Siegle, Tobias; Gvishi, Raz; Kalt, Heinz; Lemmer, Uli; Scheuer, Jacob

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Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000083167
Veröffentlicht am 04.06.2018
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1038/s41598-018-26261-3
Scopus
Zitationen: 1
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2045-2322
urn:nbn:de:swb:90-831676
KITopen-ID: 1000083167
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01)
Erschienen in Scientific reports
Band 8
Heft 1
Seiten Art.Nr.:7833
Vorab online veröffentlicht am 18.05.2018
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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