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High Quality 3D Photonics using Nano Imprint Lithography of Fast Sol-gel Materials

Bar-On, Ofer; Brenner, Philipp 1; Siegle, Tobias 2; Gvishi, Raz; Kalt, Heinz 2; Lemmer, Uli 1,3; Scheuer, Jacob
1 Lichttechnisches Institut (LTI), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Angewandte Physik (APH), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000083167
Veröffentlicht am 04.06.2018
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1038/s41598-018-26261-3
Scopus
Zitationen: 12
Web of Science
Zitationen: 9
Dimensions
Zitationen: 13
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 12.2018
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2045-2322
urn:nbn:de:swb:90-831676
KITopen-ID: 1000083167
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Erschienen in Scientific reports
Verlag Nature Research
Band 8
Heft 1
Seiten Art.Nr.:7833
Vorab online veröffentlicht am 18.05.2018
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
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Relationen in KITopen
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