Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 08.2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000085658 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics express |
Verlag | Optical Society of America (OSA) |
Band | 26 |
Heft | 17 |
Seiten | 22218-22233 |
Vorab online veröffentlicht am | 13.08.2018 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |
Relationen in KITopen |