Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2399-6528 urn:nbn:de:swb:90-861096 KITopen-ID: 1000086109 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of physics communications |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 2 |
Heft | 9 |
Seiten | 095002 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Vorab online veröffentlicht am | 04.09.2018 |
Nachgewiesen in | Dimensions |