| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2399-6528 urn:nbn:de:swb:90-861096 KITopen-ID: 1000086109 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Journal of physics communications |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 2 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 095002 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
| Vorab online veröffentlicht am | 04.09.2018 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |