Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2018 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-9811127281 KITopen-ID: 1000088693 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Erschienen in | World Congress on Micro and Nano Manufacturing. Ed.: J. Valentincic |
Veranstaltung | World Congress on Micro and Nano Manufacturing (WCMNM 2018 2018), Portorož, Slowenien, 17.09.2018 – 20.09.2018 |
Verlag | Research Publishing |
Seiten | 389–392 |
Nachgewiesen in | Dimensions |
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