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Fabrication of silicon nanopillar arrays by electron beam lithography and reactive ion etching for advanced bacterial adhesion studies

Doll, P. W.; Al-Ahmad, A.; Bacher, A.; Muslija, A.; Thelen, R.; Hahn, L.; Ahrens, R.; Spindler, B.; Guber, A. E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2053-1591
KITopen-ID: 1000095105
HGF-Programm 47.02.07 (POF III, LK 01)
Erschienen in Materials Research Express
Band 6
Heft 6
Seiten Art. Nr.: 065402
Vorab online veröffentlicht am 13.03.2019
Nachgewiesen in Web of Science
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