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Fabrication of silicon nanopillar arrays by electron beam lithography and reactive ion etching for advanced bacterial adhesion studies

Doll, P. W. 1; Al-Ahmad, A.; Bacher, A. 1; Muslija, A. 1; Thelen, R. 1; Hahn, L. 1; Ahrens, R. 1; Spindler, B.; Guber, A. E. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/2053-1591/ab0a16
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Zitationen: 27
Dimensions
Zitationen: 25
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2053-1591
KITopen-ID: 1000095105
HGF-Programm 47.02.07 (POF III, LK 01) Zellpopul.auf Biofunk.Oberflächen IMT
Erschienen in Materials Research Express
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 6
Heft 6
Seiten Art. Nr.: 065402
Vorab online veröffentlicht am 13.03.2019
Nachgewiesen in Dimensions
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