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Epoxy Resins for Negative Tone Photoresists

Vlnieska, Vitor; Mikhaylov, Andrey; Zakharova, Margarita; Blasco, Eva; Kunka, Danays

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Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000098274
Veröffentlicht am 16.09.2019
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Chemie und Polymerchemie (ITCP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2073-4360
KITopen-ID: 1000098274
HGF-Programm 43.23.01 (POF III, LK 01)
Advanced Optical Lithography+Microscopy
Erschienen in Polymers
Band 11
Heft 9
Seiten Art.Nr.: 1457
Bemerkung zur Veröffentlichung Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds
Vorab online veröffentlicht am 06.09.2019
Schlagwörter Proposal: 2018-020-022630, Technologie: ESI-µTOF-MS
Nachgewiesen in Scopus
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