Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 09.2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0003-6951, 1077-3118 KITopen-ID: 1000098451 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied physics letters |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 115 |
Heft | 10 |
Seiten | Article: 101104 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |
Relationen in KITopen |