Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2019 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2192-8606, 2192-8614 KITopen-ID: 1000104797 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nanophotonics |
Verlag | De Gruyter |
Band | 9 |
Heft | 1 |
Seiten | 75-82 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |