Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 09.06.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0026-1394, 1681-7575 KITopen-ID: 1000122740 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Metrologia |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 57 |
Heft | 4 |
Seiten | Art. Nr.: 045008 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |