| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 09.06.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0026-1394, 1681-7575 KITopen-ID: 1000122740 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Metrologia |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 57 |
| Heft | 4 |
| Seiten | Art. Nr.: 045008 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |