ICP etching of SiC with low surface roughness
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2214-7853 KITopen-ID: 1000125938 |
| Erschienen in | 2019 International Scientific Conference on Materials Science: Composites, Alloys and Materials Chemistry, MS-CAMC, 20-21 November 2020, Saint Petersburg, Russia |
| Veranstaltung | International Scientific Conference on Materials Science: Composites, Alloys and Materials Chemistry (MS-CAMC 2019), Sankt Petersburg, Russland, 20.11.2019 – 21.11.2019 |
| Verlag | Elsevier |
| Seiten | 512-515 |
| Serie | Materials Today: Proceedings ; 30 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |