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ICP etching of SiC with low surface roughness

Osipov, A. A.; Iankevich, Gleb; Berezenko, V. I.; Speshilova, A. B.; Alexandrov, S. E.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.matpr.2020.01.036
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2214-7853
KITopen-ID: 1000125938
Erschienen in 2019 International Scientific Conference on Materials Science: Composites, Alloys and Materials Chemistry, MS-CAMC, 20-21 November 2020, Saint Petersburg, Russia
Veranstaltung International Scientific Conference on Materials Science: Composites, Alloys and Materials Chemistry (MS-CAMC 2019), Sankt Petersburg, Russland, 20.11.2019 – 21.11.2019
Verlag Elsevier, Amsterdam
Seiten 512-515
Serie Materials Today: Proceedings ; 30
Nachgewiesen in Scopus
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