Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2021 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-7315-1106-9 ISSN: 1869-5183 KITopen-ID: 1000133943 |
Verlag | KIT Scientific Publishing |
Umfang | VIII, 216 S. |
Serie | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 44 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | 03.08.2020 |
Prüfungsdatum | 03.08.2020 |
Schlagwörter | Roll-to-Roll, Heißprägen, Mikrostruktur, Lithographie, Galvanik, roll-to-roll, thermal nanoimprint, microstructure, lithography, electroplating |
Relationen in KITopen | |
Referent/Betreuer | Worgull, P. H. Dr. M. |