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Werkzeug- und Prozessentwicklung des Roll-to-Roll-Hochdurchsatzverfahrens zur kontinuierlichen, großflächigen Mikrostrukturierung

Striegel, Andreas Maximilian


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000134644
Veröffentlicht am 12.07.2021
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsdatum 12.07.2021
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000134644
HGF-Programm 38.01.04 (POF IV, LK 01) Modules, Stability, Performance and Specific Applications
Weitere HGF-Programme 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Umfang 225 S.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdatum 03.08.2020
Schlagwörter Roll-to-Roll, Thermal Nanoimprint, Heißprägen, Mikro, Mikrostruktur, Lithographie, Galvanik
Relationen in KITopen
Referent/Betreuer Worgull, M.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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