Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2022 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-7315-1121-2 ISSN: 1869-5183 KITopen-ID: 1000136062 |
Verlag | KIT Scientific Publishing |
Umfang | X, 190 S. |
Serie | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 45 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | 31.03.2021 |
Prüfungsdatum | 31.03.2021 |
Schlagwörter | MEMS-Sensor, Drehratensensor, Inertialsensor, Dämpfung, Q-Faktor, MEMS sensor, gyroscope, inertial sensor, damping atmosphere, Q factor |
Relationen in KITopen | |
Referent/Betreuer | Korvink, J. G. |