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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Kopf, Marlene

Abstract:

MEMS-Inertialsensoren sind oszillatorische elektromechanische Bauelemente, die Relativbewegungen in einem Inertialsystem erfassen. Energieverluste in diesen Systemen, ausgedrückt als Gütefaktor Q, haben direkten Einfluss auf die absolute Messgenauigkeit der Sensoren, beispielsweise wenn sie für Navigation bei Ausfall des GPS-Signals eingesetzt werden. Ein Mechanismus, der den Gütefaktor reduzieren kann, ist Energieverlust des oszillierenden Systems durch Gasdämpfung. Indem der Sensor in einer evakuierten Kaverne betrieben wird, kann dieser Einfluss reduziert werden. ... mehr

Abstract (englisch):

MEMS inertial sensors are oscillatory electro-mechanical devices that detect relative motion in an inertial system. Energy losses in these systems, expressed as quality factor Q, have a direct influence on the absolute measurement accuracy and thus on the operation time, where an acceptably accurate response of a sensor can be expected, for example when they are used for navigation during loss of GPS signal. One mechanism that can lead to a reduced quality factor is energy loss of the oscillating system due to gas damping. This influence can be reduced by operating the sensor in an evacuated cavity. ... mehr


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000141623
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsdatum 04.01.2022
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000141623
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Umfang x, 192 S.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdatum 31.03.2021
Schlagwörter MEMS sensor, MEMS gyroscope, silicon sensor, inertial sensor, MEMS damping atmpsphere, MEMS cavity pressure, gyroscope Q factor, MEMS damping gas stability
Relationen in KITopen
Referent/Betreuer Korvink, J.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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