Feature Selection for Waiting Time Predictions in Semiconductor Wafer Fabs
Schelthoff, Kai
; Jacobi, Christoph
1; Schlosser, Eva 1; Plohmann, David 1; Janus, Michel; Furmans, Kai
1
1 Institut für Fördertechnik und Logistiksysteme (IFL), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
; Jacobi, Christoph
1; Schlosser, Eva 1; Plohmann, David 1; Janus, Michel; Furmans, Kai
11 Institut für Fördertechnik und Logistiksysteme (IFL), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Fördertechnik und Logistiksysteme (IFL) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0894-6507, 1558-2345 KITopen-ID: 1000148058 |
| Erschienen in | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Band | 35 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 546 – 555 |
| Vorab online veröffentlicht am | 25.06.2022 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
| Relationen in KITopen |