| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 17.08.2022 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000149964 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | VIII, 141 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Chemie und Biowissenschaften (CHEM-BIO) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 11.02.2022 |
| Relationen in KITopen | |
| Referent/Betreuer | Breitling, Frank Ulrich, Anne |