| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 26.09.2022 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000152567 |
| Verlag | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, Institut für Mikroystemtechnik (IMTEK) |
| Umfang | 191 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Freiburg, Univ., Diss., 26.09.2022 |