| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsdatum | 19.01.2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000154502 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | viii, 109 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdatum | 03.02.2022 |
| Referent/Betreuer | Korvink, Jan Gerrit Kentgens, Arno |