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Refraktive Multifokusröntgenlinsen und Hartmann-Shack-Sensoren

Opolka, Alexander ORCID iD icon 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Abstract:

Refraktive Röntgenlinsen (engl.: Compound Refractive X ray Lenses, CRLs) weisen eine absorptionsbegrenzte numerische Apertur auf. In dieser Arbeit wird ein Feld von CRLs mit jeweils leicht geneigten optischen Achsen verwendet, um diese Limitierung bei der Vollfeldmikroskopie an Laborquellen zu umgehen. Unter anderem wird auf die röntgentiefenlithografische Herstellung von CRLs eingegangen und parallele Felder von CRLs diskutiert (Hartmann-Shack-Wellenfrontsensor, rasternde Abbildungsverfahren).

Abstract (englisch):

Compound refractive X-ray lenses (CRLs) have an absorption-limited numerical aperture. In this work, an array of CRLs with slightly inclined optical axes is used to circumvent this limitation in full-field microscopy at laboratory sources. Among other things, fabrication of CRLs via deep X-ray lithography and parallel fields of CRLs (Shack-Hartmann wavefront sensor, scanning imaging methods) are discussed.


Volltext §
DOI: 10.5445/KSP/1000168831
Veröffentlicht am 06.08.2024
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Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2024
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-1349-0
ISSN: 1869-5183
KITopen-ID: 1000168831
Umfang IX, 113 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 49
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 21.11.2023
Prüfungsdatum 21.11.2023
Schlagwörter CRL, Vollfeldmikroskopie, Hartmann-Shack Sensor, Multiröntgenlinse, LIGA, CRL, full-field microscopy, Shack-Hartmann sensor, Multi-CRL, LIGA
Relationen in KITopen
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