Enabling Tunability of a MEMS Sensor with a Geometric Nonlinearity1

Rolf, Hermann Folke Johann ¹; Meurer, Thomas

¹
¹ Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Verlagsausgabe

DOI: 10.5445/IR/1000174150

Veröffentlicht am 12.09.2024

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.ifacol.2024.07.065

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2024
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 2405-8963 KITopen-ID: 1000174150
Erschienen in	IFAC-PapersOnLine
Verlag	International Federation of Automatic Control (IFAC)
Band	58
Heft	5
Seiten	66–71
Nachgewiesen in	Dimensions Scopus