Enabling Tunability of a MEMS Sensor with a Geometric Nonlinearity1
Rolf, Hermann Folke Johann 1; Meurer, Thomas
1
1 Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2405-8963 KITopen-ID: 1000174150 |
| Erschienen in | IFAC-PapersOnLine |
| Verlag | International Federation of Automatic Control (IFAC) |
| Band | 58 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 66–71 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |