| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 23.10.2023 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-6203-3 KITopen-ID: 1000180575 |
| Erschienen in | 10. MikroSystemTechnik Kongress, Dresden, 23.-25. Oktober 2023 |
| Veranstaltung | 10. MikroSystemTechnik Kongress (2023), Dresden, Deutschland, 23.10.2023 – 25.10.2023 |
| Verlag | VDE Verlag |