Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsdatum | 23.10.2023 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-6203-3 KITopen-ID: 1000180575 |
Erschienen in | 10. MikroSystemTechnik Kongress, Dresden, 23.-25. Oktober 2023 |
Veranstaltung | 10. MikroSystemTechnik Kongress (2023), Dresden, Deutschland, 23.10.2023 – 25.10.2023 |
Verlag | VDE Verlag |