| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0947-8620 KITopen-ID: 1092003 Reportnummer: FZKA-6801 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | 90 S. |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6801 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 17.7.2002 |
| Prüfungsdatum | 17.07.2002 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |