Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISSN: 0947-8620 KITopen-ID: 1092003 Reportnummer: FZKA-6801 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Umfang | 90 S. |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6801 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 17.7.2002 |
Prüfungsdatum | 17.07.2002 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |
Referent/Betreuer | Saile, V. |