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Röntgentiefenlithographie an ANKA

Mohr, J.; Achenbach, S.; Börner, M.; Pantenburg, F.J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120049062
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe
Band 32
Seiten 333-40
Erscheinungsvermerk (2000)
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