Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120052533 |
HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
Band | 34 |
Seiten | 153-59 |