Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 200056094 Reportnummer: FZKA-6934 |
HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6934 (November 2003) Dissertation (Y.Liu), Universität Karlsruhe 2003 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Prüfungsdaten | 01.01.2003 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |