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Hochempfindliche LIGA-Mikrospektrometersysteme für den Infrarotbereich

Krippner, Peter; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 25599
Reportnummer: FZKA-6346
HGF-Programm 41.07.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6346.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 2.7.1999 von Peter Krippner.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 2.7.1999
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