| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 25999 Reportnummer: FZKA-6314 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | 96 S. |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA. ; 6314 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 15.4.1999 |
| Prüfungsdatum | 15.04.1999 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Referent/Betreuer | Saile, V. Moser, H. O. |