Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 25999 Reportnummer: FZKA-6314 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Umfang | 96 S. |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA. ; 6314 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 15.4.1999 |
Prüfungsdatum | 15.04.1999 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |
Referent/Betreuer | Saile, V. Moser, H. O. |