| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270027891 Reportnummer: KFK-4607 |
| HGF-Programm | 16.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | KfK-4607 (August 89) |