Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 1989 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 270027891 Reportnummer: KFK-4607 |
HGF-Programm | 16.00.00 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | KfK-4607 (August 89) |