Materialbearbeitung durch Clusterionenbeschuss

Henkes, P. R. W.; Krevet, B.

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DOI: 10.5445/IR/270034640

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	urn:nbn:de:swb:90-AAA2700346406 KITopen-ID: 270034640 Reportnummer: KFK-5265
HGF-Programm	41.01.08 (Vor POF, LK 01)
Serie	KfK-Berichte ; 5265