Materialbearbeitung durch Clusterionenbeschuss
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700346406 KITopen-ID: 270034640 Reportnummer: KFK-5265 |
| HGF-Programm | 41.01.08 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 5265 |