Berechnung des Verformungsverhaltens einer Mikrobiegevorrichtung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700371867 KITopen-ID: 270037186 Reportnummer: FZKA-5527 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5527 |