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Berechnung des Verformungsverhaltens einer Mikrobiegevorrichtung

Jansohn, W.; Piesch, P.; Reinke, T.J.; Tsakmakis, Ch.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270037186
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA2700371867
KITopen-ID: 270037186
Reportnummer: FZKA-5527
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5527
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