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Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen

Wieland, P.; Düpmeier, C.; Eggert, H.; Scherer, K.P.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270037864
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA2700378640
KITopen-ID: 270037864
Reportnummer: FZKA-5597
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5597
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