KIT | KIT-Bibliothek | Impressum
Open Access Logo

Herstellung von dünnen sensitiven Membranen für Gas- und elektrochemische Sensoren mittels HF-Magnetron-Co-Sputtern

Bruns, M.; Dosenbach, S.; Geckle, U.; Klewe-Nebenius, H.; Lutz, H.; Willam, E.; Ache, H.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 270040331
Reportnummer: FZKA-5852
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5852 (November 96)
URLs Abstract (HTML)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page