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Herstellung von dünnen sensitiven Membranen für Gas- und elektrochemische Sensoren mittels HF-Magnetron-Co-Sputtern

Bruns, M.; Dosenbach, S.; Geckle, U.; Klewe-Nebenius, H.; Lutz, H.; Willam, E.; Ache, H. J.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/270040331
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270040331
Reportnummer: FZKA-5852
HGF-Programm 41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5852 (November 96)
Externe Relationen Abstract/Volltext
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