| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700431946 KITopen-ID: 270043194 Reportnummer: FZKA-6080 |
| HGF-Programm | 41.00.01 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6080 |