| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270054337 Reportnummer: FZKA-6804 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6804 (Februar 2003) |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |