Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700569905 KITopen-ID: 270056990 Reportnummer: FZKA-6990 |
HGF-Programm | 41 (POF I, LK 01) Mikrosystemtechnik (MIKRO) |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6990 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |