| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700569905 KITopen-ID: 270056990 Reportnummer: FZKA-6990 |
| HGF-Programm | 41 (POF I, LK 01) Mikrosystemtechnik (MIKRO) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6990 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |