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URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA38020034

Formgedächtnis-Mikroventile mit hoher Energiedichte

Liu, Yong; Kohl, Manfred

Abstract:


Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung von
Formgedächtnis-Mikroventilen und daraus aufgebauter
Durchflussregler für mikrofluidische Anwendungen. Ein erklärtes
Ziel war die Bereitstellung einer hohen Energiedichte, um
möglichst kompakte Bauelemente mit großem Arbeitsvermögen zu
realisieren. Von den bekannten Energiewandlungsprinzipien zeigt
der Formgedächtnis- (FG-) Effekt die höchste Energiedichte.
Daher liegt der Schwerpunkt der Arbeit in der Entwicklung
mikrosystemtechnischer Lösungen zur Strukturierung,
Kontaktierung und Integration verfügbarer Folien und
Dünnschichten aus Formgedächtnislegierungen (FGL).
Zur Mikrostrukturierung von FGL-Dünnschichten wurde in dieser
Arbeit ein neuartiges nasschemisches Photoätzverfahren
entwickelt. Dabei wurde eine zusätzliche chemisch inerte, jedoch
selektiv ätzbare Schutzschicht, die gleichzeitig als Ätzmaske
dient, eingeführt. Das Verfahren erlaubt eine kostengünstige
parallele Herstellung sehr empfindlicher, dünner Mikrostrukturen
mit hoher Ausbeute bis zu 100%. Die Anwendung wurde sowohl an
Legierungen basierend auf NiTi (NiTi, NiTiPd, NiTiCu, ...) als
auch an NiMnGa-Legierungen demonstri ... mehr


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 3802003
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 2003. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6934.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 15.7.2003 von Yong Liu.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 15.7.2003
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