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Konzeption, Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik

Rapp, Richard; Schomburg, W.K.; Bley, Peter



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator DOI(KIT): 10.5445/IR/40193
URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA401938
KITopen ID: 40193
Reportnummer: KFK-5251
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Serie KfK-Berichte ; 5251
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 19.4.1993
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