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Konzeption, Entwicklung und Realisierung einer Mikromembranpumpe in LIGA-Technik

Rapp, Richard; Schomburg, W.K.; Bley, Peter

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/40193
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA401938
KITopen-ID: 40193
Reportnummer: KFK-5251
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Serie KfK-Berichte ; 5251
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 19.4.1993
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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